一种真空镀膜机

基本信息

申请号 CN202111276041.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114086145A 公开(公告)日 2022-02-25
申请公布号 CN114086145A 申请公布日 2022-02-25
分类号 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 应世强;应佳根 申请(专利权)人 南京丙辰表面技术有限公司
代理机构 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 张丽丽
地址 210000江苏省南京市浦口区浦口经济开发区步月路9号-130
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种真空镀膜机,涉及镀膜机技术领域,包括真空炉、转架、推车和抽空机构,抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空,转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部,转架包括转动部和滑动部,转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架,滑动部包括两呈圆弧形结构的底架,两底架之间通过连杆固定,底架两端分别设置转轮,采用卧式设计,通过推车将转架送入到真空炉的内部,推车上的丝杆能够上下调节导轨的高度,使得导轨的高度能够与滑架的高度持平,方便将转架平稳的推入到真空炉内,并且通过限位杆不仅能够保证转架移动能够保持稳定,还可以通过限位杆旋接锁紧螺帽将转架的位置进行固定。