一种真空镀膜机
基本信息
申请号 | CN202111276041.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114086145A | 公开(公告)日 | 2022-02-25 |
申请公布号 | CN114086145A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 应世强;应佳根 | 申请(专利权)人 | 南京丙辰表面技术有限公司 |
代理机构 | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 张丽丽 |
地址 | 210000江苏省南京市浦口区浦口经济开发区步月路9号-130 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种真空镀膜机,涉及镀膜机技术领域,包括真空炉、转架、推车和抽空机构,抽空机构连接真空炉用于将真空炉抽取真空,转架滑动连接在推车上并被推车送入至真空炉的内部,转架包括转动部和滑动部,转动部包括通过支撑杆连接的第一固定架和第二固定架,滑动部包括两呈圆弧形结构的底架,两底架之间通过连杆固定,底架两端分别设置转轮,采用卧式设计,通过推车将转架送入到真空炉的内部,推车上的丝杆能够上下调节导轨的高度,使得导轨的高度能够与滑架的高度持平,方便将转架平稳的推入到真空炉内,并且通过限位杆不仅能够保证转架移动能够保持稳定,还可以通过限位杆旋接锁紧螺帽将转架的位置进行固定。 |
