利用碳纳米管的场致发射冷阴极软X射线管专利查询专利号|摘要-满商公司网

利用碳纳米管的场致发射冷阴极软X射线管

基本信息

申请号	CN202010366327.6	申请日	-
公开（公告）号	CN111554558A	公开（公告）日	2020-08-18
申请公布号	CN111554558A	申请公布日	2020-08-18
分类号	H01J35/06(2006.01)I	分类	-
发明人	申云峰;柯炳育;申龙来;朱甫;胥广通	申请（专利权）人	莱特泰克（昆山）光电科技有限公司
代理机构	苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	莱特泰克（昆山）光电科技有限公司
地址	215000江苏省苏州市昆山开发区西江路158号5号楼
法律状态	-

摘要

本发明公开了利用碳纳米管的场致发射冷阴极软X射线管，以碳纳米管为电子发射材料的装备了场致发射型冷阴极的软X射线管,以铍窗内侧镀金(Au)的箔膜为靶极，将冷阴极上碳纳米管电子发射面同镀金靶极面正面平行处理，使靶极上产生的X射线向前发射出去。本发明中的软X射线管装备了冷阴极，无需电力来加热灯丝，可以节约相关电力消耗，并且使管电流均匀分布到镀金靶极面上以延长靶极的损伤从而可以维持软X射线管的长寿命，此方式不仅加大了照射角度，还提高了在X射线照射区域的X射线强度的均匀性，制作工艺方面，作为可以大量生产低成本的小型软X射线管的组装型工艺，通过确立真空包装工艺可以对复数的软X射线管同时进行真空排气及封口。