一种实现共轴的电子束成像设备及实现方法
基本信息
| 申请号 | CN202110810762.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113539769A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113539769A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | H01J37/26;H01J37/28;G02B21/24 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵焱 | 申请（专利权）人 | 苏州矽视科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京常青藤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 史慧敏 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区现代大道88号物流大厦（112）-68室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种实现共轴的电子束成像设备，包括电子源，用于发射主电子束；聚光镜，用于调节束张角，即将所述电子源发射的电子束进行会聚；限制膜孔，用于限制杂散电子和束流；物镜，用于将入射的主电子束聚焦到样品表面；探测器，用于收集电子经由光电转换形成图像；工作台，用于承载样品并将待测区域移动定位至光轴下方；光学显微镜，用于对待测区域成像定位并关联电子光学光轴所对应的位置。本发明配置折射面，将光学显微镜物方光路导入电子光学光路，实现共轴或平行，同时折射面成为样品表面激发出的信号电子的轰击罢免，通过二次电子探测器或环形探测器接收检测，进而根据检测结果调节光学显微镜位置实现并行同位成像，或先后成像。 |
