一种高损伤阈值激光镜片及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201910090957.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109782377A | 公开（公告）日 | 2019-05-21 |
| 申请公布号 | CN109782377A | 申请公布日 | 2019-05-21 |
| 分类号 | G02B1/10（2015.01）I; G02B5/08（2006.01）I; C23C14/24（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; C23C14/10（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 姜海; 刘瑞斌; 孟欢 | 申请（专利权）人 | 沈阳北理高科技有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳智龙专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈阳北理高科技有限公司 |
| 地址 | 110044 辽宁省沈阳市大东区东站街59号378幢401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学薄膜领域，涉及一种高损伤阈值激光镜片及其制作方法。本发明的激光镜片包括基片和镀膜层，所述的镀膜层从基片表面依次交替形成数层二氧化锆膜层和数层二氧化硅膜层，其中二氧化锆膜层采用锆锡合金进行镀膜。本发明的制作方法包括基片准备，镀前准备，镀膜。本发明提供一种解决直接蒸发二氧化锆材料损伤阈值低的高损伤阈值激光镜片及其制作方法，采用蒸发锆锡合金的方法将二氧化锆膜层的损伤阈值从5J/cm2 10ns@355nm提高至17J/cm2 10ns@355nm。 |
