一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201611024181.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106700942B | 公开（公告）日 | 2018-07-10 |
| 申请公布号 | CN106700942B | 申请公布日 | 2018-07-10 |
| 分类号 | H01L21/302;C09G1/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪海波;鲁世斌;万丽娟;张忠祥;杨金;王菲菲 | 申请（专利权）人 | 安徽微半半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 230601 安徽省合肥市经开区莲花路1688号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法。所述抛光组合物包含如下质量份数的组分：1～50％硅溶胶、0.15％～6％的速率促进剂、0.1％～5％的糖类物质和pH值调节剂，其余部分为去离子水，pH值范围为8～12。其制备方法是将各种组分稀释混合。该组合物具有抛光速率快、表面质量好、易于清洗和易于制备等特点。此外，本发明所涉及的组分均为常见化合物，成本低，且不含有表面活性剂等难以去除的有机物，易于清洗，也不含无机金属杂质，无污染环境的风险。 |
