一种高纯水溶性硅片清洗剂及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111620195.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114317128A | 公开（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申请公布号 | CN114317128A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
| 分类号 | C11D1/29（2006.01）I;C11D1/72（2006.01）I;C11D3/60（2006.01）I;C11D3/37（2006.01）I;C11D3/22（2006.01）I;C11D3/20（2006.01）I | 分类 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛; |
| 发明人 | 张传好;周励;纪招君 | 申请（专利权）人 | 上海化学试剂研究所有限公司 |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蒋亮珠 |
| 地址 | 200333上海市普陀区真北路401号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高纯水溶性硅片清洗剂及其制备方法，包括以下重量百分比的组分：表面活性剂5～10％、聚合物助洗剂5～15％、助溶剂1～5％、增强剂25～40％和高纯水35～50％。与现有技术相比，本发明底漆VOC含量低，且漆膜干性快，韧性好，早期耐水性能佳，防腐性能优异，另外，本发明清洗剂主要用于抛光后硅片清洗及擦片工序，主要祛除硅片在加工过程中表面沾染的润滑剂、灰尘及其它污物。是一种无毒、无害、安全、无污染的清洗剂。 |
