束流检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201611129377.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108615666A | 公开（公告）日 | 2018-10-02 |
| 申请公布号 | CN108615666A | 申请公布日 | 2018-10-02 |
| 分类号 | H01J37/244;H01J37/317 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张晓峰;金浩 | 申请（专利权）人 | 上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区牛顿路200号7号楼单元1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种束流检测装置，该束流检测装置与真空腔的腔壁固定，腔壁上设置有平行排列的多个第一通孔，束流检测装置包括：多个平行间隔设置、且固定于该大气侧的法拉第杯，每个法拉第杯的杯体与该大气侧相接触的表面是绝缘的，每个法拉第杯设置了用于接收束流的导电部，法拉第杯均位于磁场中且该磁场用于使待检测束流中的电子在绕行磁力线的过程中撞击该腔壁。本发明采用了固定式束流检测方式，通过多个沿长边方向排列的法拉第杯来获得束流长边方向上的采样点的电流值，从而得到束流的各项参数，由此避免了移动式束流检测装置在检测大尺寸束流时产生的设备安装空间要求高、真空力的传递造成的真空密封问题、布线困难问题。 |
