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真空过滤装置及系统

基本信息

申请号 CN201922002042.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211513831U 公开（公告）日 2020-09-18
申请公布号 CN211513831U 申请公布日 2020-09-18
分类号 B01D46/12(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I 分类 -
发明人 洪俊华 申请（专利权）人 上海临港凯世通半导体有限公司
代理机构 上海弼兴律师事务所 代理人 上海临港凯世通半导体有限公司
地址 201306上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号207室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空过滤装置及系统。真空过滤装置包括：一箱体；分别位于所述箱体两端的进气口和排气口；位于所述进气口和所述排气口之间的过滤器，所述过滤器连接于所述箱体的顶板和底板之间；以及，设置于所述顶板和所述底板中的介质通路，其中，所述过滤器包括：相互交错间隔排列的梳状板，所述梳状板用于提供之字形的气体通路。通过梳状板所提供的之字形气体通路和冷却介质的作用，使得自真空腔排出的含有掺杂剂的气体能冷凝于梳状板上，保护下游的真空泵组件，延长真空泵的保养周期。