铬铝合金靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410848578.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104451277B | 公开（公告）日 | 2017-02-15 |
| 申请公布号 | CN104451277B | 申请公布日 | 2017-02-15 |
| 分类号 | C22C21/00(2006.01)I;C22C27/06(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 宋爱谋;钟小亮 | 申请（专利权）人 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 |
| 代理机构 | 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人 | 马俊荣 |
| 地址 | 255100 山东省淄博市文昌湖旅游度假区商家镇 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于靶材制造技术领域，具体涉及一种铬铝合金靶材及其制备方法。铬铝合金靶材以铬和铝为主元素，该靶材还包含Co、Ti、Ta、W、Nb、Mo、Zr、V、B、Si、Y、La、Ce或Se中至少两种元素。本发明通过多种元素的添加可形成多种形态的氮化、碳化、氮碳化的复合膜层材料；通过改进的热处理工艺更有利于产品的进一步致密化；通过改进的混粉及脱气工艺，有效地控制了氧含量。 |
