一种高致密导电氧化铌靶材的制备方法

基本信息

申请号 CN202011614214.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112592181A 公开(公告)日 2021-04-02
申请公布号 CN112592181A 申请公布日 2021-04-02
分类号 C23C14/08(2006.01)I;B28B3/00(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/495(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分类 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
发明人 宋海涛;宋爱谋 申请(专利权)人 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 255000山东省淄博市文昌湖区商家镇杨家村西首
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种高致密导电氧化铌靶材的制备方法,涉及材料加工技术的领域,其包括以下步骤:S1、选择氧化铌粉料和金属铌粉料作为原料按照配比放入V型混料机中混料,S2、混料完成后经高能球磨机进行球磨,S3、球磨好的粉料装模,S4、热压处理制得靶材坯料,S5、冷却后将靶材坯料取出,S6、将靶材坯料加工成规定形状的靶材。本申请具有通过氧化铌粉料和金属铌粉料混合热压制得靶材,从而提高靶材导电率的效果。