一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110154668.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112962049A | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN112962049A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | C23C4/134（2016.01）I;C23C4/08（2016.01）I;C23C4/16（2016.01）I;B22F1/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋海涛;宋爱谋 | 申请（专利权）人 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000山东省淄博市文昌湖区商家镇杨家村西首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及靶材制造技术的领域，具体公开了一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，包括以下步骤：氢还原处理：选用镍粉和铬粉放入推板窑炉中进行氢还原处理；靶材材料混合：将氢还原处理后的镍粉和铬粉进行混料，制得混合金属粉料；热喷涂：在氩气保护气氛内，采用等离子热喷涂的方式将混合金属粉料喷涂于衬管侧壁上，混合金属粉料在衬管侧壁上形成一层靶管，制得管靶胚体；精加工：对管靶胚体进行精密机械加工，获得最终热喷涂管靶。本申请的制备方法具有减少靶管内氧化物杂质颗粒，提高镀膜层与玻璃表面的连接牢固度优点。 |
