一种一体成型管靶的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110156015.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112981342A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112981342A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | C23C14/35;B22F5/00;B22F3/02;B22F3/15;B22F3/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋海涛;宋爱谋 | 申请（专利权）人 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000 山东省淄博市文昌湖区商家镇杨家村西首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及靶材制造技术的领域，具体公开了一种一体成型管靶的生产工艺，包括以下步骤：装填：将铌粉装填进入包套内，将包套内抽至真空；热等静压：将装有铌粉的包套放入热等静压炉内进行热等静压，热等静压过程中热等静压炉内保持持续抽气；机加工：热等静压后的包套进行机加工得到最终管靶。本申请的制备方法具有减少靶材氧化，从而提高靶管纯度优点。 |
