钼合金靶材的制备方法

基本信息

申请号 CN201410844066.9 申请日 -
公开(公告)号 CN104439247B 公开(公告)日 2017-08-29
申请公布号 CN104439247B 申请公布日 2017-08-29
分类号 B22F3/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分类 铸造;粉末冶金;
发明人 宋爱谋;钟小亮 申请(专利权)人 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司
代理机构 青岛发思特专利商标代理有限公司 代理人 马俊荣
地址 255100 山东省淄博市文昌湖旅游度假区商家镇
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于材料加工技术领域,具体涉及一种钼合金靶材的制备方法,使用金属钼粉与其它金属粉通过机械合金化的方式获得合金粉体,合金粉体后处理,即得。本发明采用了机械合金化处理工艺,粉体原料的分布均匀性及合金化性能更好;采用冷等静压处理后再进行热等静压处理,产品的致密性更好;经过多阶段的脱气处理工艺,产品的氧含量更低,脱气性能更好。