快速热退火装置
基本信息
| 申请号 | CN201210018609.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103215650A | 公开（公告）日 | 2013-07-24 |
| 申请公布号 | CN103215650A | 申请公布日 | 2013-07-24 |
| 分类号 | C30B33/02(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 蒋猛;刘志强 | 申请（专利权）人 | 四川尚德太阳能电力有限公司 |
| 代理机构 | 中国专利代理（香港）有限公司 | 代理人 | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 |
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新区长江南路17－6 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种快速热退火装置，包括：用于置放衬底的衬底承载单元；在其中放置用于制造气氛的固体物质的坩埚；以及置于所述衬底和所述坩埚之间的加热装置，所述加热装置用于使所述坩埚中的固体物质蒸发以及向上加热所述衬底架中的衬底。 |
