MEMS器件检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201510925570.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106872816B | 公开（公告）日 | 2019-06-04 |
| 申请公布号 | CN106872816B | 申请公布日 | 2019-06-04 |
| 分类号 | G01R31/00（2006.01）I; G01R27/26（2006.01）I; B81C99/00（2010.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈志翔; 朱佳辉 | 申请（专利权）人 | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山东共达电声股份有限公司 |
| 地址 | 261000 山东省潍坊市坊子区凤山路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种MEMS器件检测方法，所述MEMS器件由膜片和背板形成，所述方法包括：向所述MEMS器件的膜片和背板施加以第一频率变化的输入电压；检测所述MEMS器件的输出电压；根据如下公式获取与之对应的静电力；根据所述静电力和输出电压获取所述MEMS器件的检测参数。本发明的MEMS器件检测方法通过施加连续变化的电压模拟真实的MEMS麦克风来测试MEMS特性，提高了MEMS检测参数的准确度，省去了记录大量测试点的繁琐工作，提高了测试效率。 |
