一种应用柔性背极的硅电容麦克风
基本信息
| 申请号 | CN201510242784.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104853300B | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN104853300B | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 万蔡辛;杨少军 | 申请（专利权）人 | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市沈合专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 沈祖锋 |
| 地址 | 261206 山东省潍坊市坊子区凤山路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种用于应用柔性背极的硅电容麦克风，包括基底、振膜和柔性背极，所述柔性背极与所述振膜形成可变电容，其中，所述柔性背极因残余应力导致的翘曲小于或等于20微米，所述柔性背极上设置有波纹或加强筋，并且所述柔性背极上还设置有开孔或开槽。在现有工艺水平下，硅电容麦克风的灵敏度、线性度、信噪比、敏感电容、动态响应等性能指标和产品环境适应性，由于应用本发明的设计手段而得以提高。 |
