一种气相沉积炉的密封结构
基本信息
| 申请号 | CN201820171861.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208074171U | 公开（公告）日 | 2018-11-09 |
| 申请公布号 | CN208074171U | 申请公布日 | 2018-11-09 |
| 分类号 | F16J15/43;F16J15/32;C23C16/00 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 董家海 | 申请（专利权）人 | 常熟通乐电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江诺华陶瓷有限公司;常熟通乐电子材料有限公司 |
| 地址 | 322100 浙江省金华市东阳市巍山镇六怀工业功能区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种气相沉积炉的密封结构，该气相沉积炉包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉盖中央凸起一管套，所述管套上端设置有端盘，所述端盘中央贯穿设置一竖向的旋转棒，所述端盘上方设置有磁流体密封套，所述磁流体密封套套接于所述旋转棒的圆周外侧。本实用新型采用磁流体密封技术，由于磁流体可进入磁场的整个间隙，密封效果极好，可保证炉内压力恒定，生产稳定，提高产品质量，通过骨架油封阻止磁流体进入炉内，保证生产不受影响，又通过O型密封圈密封保证各个结构之间的密封效果，实现完美配合，炉内恒压，生产稳定，产品质量高，企业效益好，实用性强。 |
