晶圆切割机用冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202021464390.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213320986U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213320986U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | B28D7/00（2006.01）I;B01D46/10（2006.01）I;B28D7/02（2006.01）I;B28D1/22（2006.01）I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 路玉 | 申请（专利权）人 | 北京旭普科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 孙铭侦 |
| 地址 | 100085北京市海淀区上地国际科技创业园2-1703 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种晶圆切割机用冷却装置，涉及晶圆切割机用冷却装置的领域，其包括出风管、设于所述出风管内的多个雾化喷头、与每一所述雾化喷头连通的输水管以及设于所述出风管一侧的抽风装置，所述抽风装置包括吸风管以及固接于所述吸风管内的抽风机，所述出风管的端口和所述吸风管的端口正对的设于用于切割晶圆的切割刀具两侧。本申请具有可提高对晶圆的切割品质的效果。 |
