一种低残压低电容单向ESD保护器件

基本信息

申请号 CN202020652470.7 申请日 -
公开(公告)号 CN212010967U 公开(公告)日 2020-11-24
申请公布号 CN212010967U 申请公布日 2020-11-24
分类号 H01L27/02(2006.01)I;H01L21/8228(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 宋文龙;杨珏琳;张鹏;李泽宏;许志峰 申请(专利权)人 成都吉莱芯科技有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 查鑫利
地址 四川省成都市自由贸易试验区成都高新区世纪城南路599号6栋5层505号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种低残压低电容单向ESD保护器件,包括N型单晶,N型单晶顶面设置三个隔离介质层,相邻两个隔离介质层之间设置正面金属区,N型单晶内,顶部一侧设有P型扩散区,另一侧设置相连的N型接触区、P型接触区,P型扩散区底部为N型调整区,顶部设相连的N型接触区与P型接触区,本实用新型可以在芯片面积不变、芯片加工工序不变的条件下,获得更低的残压参数;通过高能注入的方式将N型调整区105由芯片表面位置调整到P型扩散区102底部,使得残压参数可以获得一定比例的降低;与常规结构相比,在芯片面积一定的条件下,本实用新型的残压参数可以降低10‑30%。