脉冲激光镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201910769108.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110607506B | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN110607506B | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱佳敏;陈思侃;赵跃;张智巍;姚林朋 | 申请（专利权）人 | 上海超导科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人 | 庄文莉 |
| 地址 | 201207 上海市浦东新区自由贸易试验区芳春路400号1幢3层301-15室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种脉冲激光镀膜装置，包括：激光器(1)、光路系统(2)、镀膜腔体(3)；所述激光器(1)产生脉冲激光光束(21)；所述光路系统(2)将脉冲激光光束(21)引入镀膜腔体(3)内部，使得靶材(341)表面上形成羽辉(211)，来将靶材(341)的材料溅射到基带(336)上形成超导层。本发明能够提高脉冲激光镀膜的质、量以及设备的使用。 |
