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一种BBD传感器调节机构

基本信息

申请号 CN202020204684.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211455656U 公开（公告）日 2020-09-08
申请公布号 CN211455656U 申请公布日 2020-09-08
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 -
发明人 朱晔;陈旻皓 申请（专利权）人 无锡立朵科技有限公司
代理机构 上海联科律师事务所 代理人 无锡立朵科技有限公司
地址 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-506
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种BBD传感器调节机构，包括安装在主轴输出端上的主轴连接板，所述主轴连接板上侧设有安装座，且主轴连接板后端面右侧上开设有条形槽，所述安装座前端面右侧上固定有BBD传感器，所述BBD传感器隐藏在条形槽内，所述安装座上端面一侧啮合调节旋钮螺钉，所述调节旋钮螺钉贯穿于安装座并与主轴连接板螺纹连接，本实用新型改变调节螺栓在主轴连接板上端的长度，改变安装座与主轴连接板之间的距离，从而带动安装座上的BBD传感器靠近或远离切割刀片，适用于不同主轴出轴距离的晶圆划片机，适用范围大，结构简单方便操作。