一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器

基本信息

申请号 CN202021359580.0 申请日 -
公开(公告)号 CN213747303U 公开(公告)日 2021-07-20
申请公布号 CN213747303U 申请公布日 2021-07-20
分类号 F24H3/04(2006.01)I;F24H9/18(2006.01)I;F24H9/20(2006.01)I;H05B6/10(2006.01)I 分类 供热;炉灶;通风;
发明人 吴昊 申请(专利权)人 摩尔机电工程无锡有限公司
代理机构 南京禾易知识产权代理有限公司 代理人 王彩君
地址 214000江苏省无锡市新吴区锡兴路18号汇鸿工业园6栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出了一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器,包括加热体和导流体,所述加热体包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置,所述加热装置包括圆柱形泡沫金属以及依次包覆在泡沫金属外侧的铜环和环形电缆,保温装置包覆于加热装置外侧;所述导流体与加热体相连,用于将经加热体加热后的氮气送入半导体管道中。本实用新型通过采用孔隙度高达90%以上的泡沫金属作为交换媒介,泡沫金属具有孔隙比表面积大,通气性高等独特的结构特点,增加了接触面积,热效率更高,环形电缆结构,电缆本身不会产生热量,使用寿命大大增加;采用热电偶感应探头,能准确感应氮气温度。