一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法
基本信息
申请号 | 2020111449819 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112251729A | 公开(公告)日 | 2021-01-22 |
申请公布号 | CN112251729A | 申请公布日 | 2021-01-22 |
分类号 | C23C14/50(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 朱汪根;张见平;许波;胡松;吴俊保;冯治国 | 申请(专利权)人 | 凯盛信息显示材料(黄山)有限公司 |
代理机构 | 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人 | 周勇 |
地址 | 245400安徽省黄山市休宁县经济开发区高新电子信息产业园孵化器 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法,包括基板架、上旋转座、下旋转座和真空驱动机构,所述基板架包括横梁和竖梁,若干所述横梁和竖梁将基板架分隔为玻璃安装间隔和真空驱动机构间隔,所述弹簧套活动安装在伸缩机构内;所述真空驱动机构安装在真空驱动机构间隔内,所述真空驱动机构包括筒体,所述驱动连杆上间隔均匀设置有若干主动同步带轮,本发明通过上下的玻璃固定弹片将待镀膜的玻璃进行夹持,不会对玻璃表面造成划伤,减小了玻璃边角破损的风险,利用真空环境的特点,通过真空和大气压条件下的内外气压差,从而在无需电机驱动下完成玻璃的180°旋转,使得玻璃可以进行双面镀膜,提高玻璃的装卸和镀膜效率。 |
