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一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置

基本信息

申请号 CN202111307513.3 申请日 -
公开（公告）号 CN114011816A 公开（公告）日 2022-02-08
申请公布号 CN114011816A 申请公布日 2022-02-08
分类号 B08B9/051（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 黄晶晶;吴刚;鞠贵冬;王新强 申请（专利权）人 双良硅材料（包头）有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 秦晓君
地址 014062内蒙古自治区包头市稀土开发区滨河新区翠湖路35号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置，其中，单晶炉排气管路自清洁装置包括壳体、闸板阀、清洁头、第一驱动机构和第二驱动机构；壳体第一端为开口结构；闸板阀第一端用于连接排气管道的工艺孔，第二端与壳体第一端连接；清洁头设置于壳体内；第一驱动机构用于在闸板阀打开时，驱使清洁头由壳体内伸入排气管道内；第二机构用于驱使清洁头旋转。在本方案中，通过第一驱动机构将清洁头带入排气管道内，并通过第二驱动机构带动清洁头进行旋转清洁，以实现排气管道内挥发物的清洁，确保排气管道通畅，加快挥发物排出速率，进而降低了挥发物在硅液中的溶解几率，从而有效降低了氧含量，以此可有助于避免对电池端和组件端带来影响。