一种水冷屏、单晶硅生长装置及单晶硅生长方法
基本信息
| 申请号 | CN202111266420.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113981524A | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN113981524A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王新强;张存江;白建涛 | 申请（专利权）人 | 双良硅材料（包头）有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 骆英静 |
| 地址 | 014062内蒙古自治区包头市稀土开发区滨河新区翠湖路35号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种水冷屏，包括：水冷屏本体和设置于所述水冷屏本体内部的冷却水路，所述冷却水路至少包括两个冷却水路支路，且各个所述冷却水路支路彼此相互独立；所述冷却水路支路通过控制冷却水的供水时间或供水流量，使得硅棒在上升至某一高度时对应位置的所述冷却水路支路处于低温状态。本发明提供的水冷屏能通过分时分量供水，提升水冷屏换热速率，增大硅棒生长时轴向温度梯度，有效地提升单晶硅的生长速度。本发明实施例还公开了一种单晶硅生长装置及单晶硅生长方法。 |
