中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器

基本信息

申请号 CN202110085518.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112908816A 公开(公告)日 2021-06-04
申请公布号 CN112908816A 申请公布日 2021-06-04
分类号 H01J37/30;H01J37/08;H01J29/04 分类 基本电气元件;
发明人 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 申请(专利权)人 中山市博顿光电科技有限公司
代理机构 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 王园园
地址 528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器,所述方法包括:向中空阴极管导入工作气体;启动维持电源,向中空阴极管输入维持电流;对所述中空阴极管的头部位置进行持续加热;当所述中空阴极管的头部位置的温度满足热电子输出时,控制温度调整至设定温度值;开启阴极电源向中空阴极中和器提供工作电源;该技术方案能适应低温阴极材料工作环境,降低了高压启动对电源的要求,无需大量的气体流量来启动,便于启动控制。