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直流阴极中和器

基本信息

申请号 CN202110085601.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112908818A 公开（公告）日 2021-06-04
申请公布号 CN112908818A 申请公布日 2021-06-04
分类号 H01J37/30;H01J37/08 分类 基本电气元件;
发明人 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 申请（专利权）人 中山市博顿光电科技有限公司
代理机构 广州市律帆知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王园园
地址 528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种直流阴极中和器，包括：电离腔室，阴极靶材，维持极以及磁铁组件；其中，维持极设于电离腔室上部，连接维持电源；阴极靶材设于电离腔室底部，连接电离电源，且阴极靶材与维持极保持绝缘隔离；磁铁组件设于阴极靶材底部，用于在电离腔室产生强磁场；在工作中，电离腔室通入工作气体，磁铁组件在电离腔室的电离区域产生强磁场，电离区域在强磁场和电场的共同作用下对工作气体进行电离产生等离子体；等离子体中的负电子在维持极的作用下，通过设置在电离腔室的电子输出口进行输出；该技术方案，结构简单，维护方便，使用强磁场提高了电离效率；而且阴极靶材可以使用多种金属，可以使用耐高温稀有金属，对产品不产生污染等不利影响。