离子源的电源控制方法、系统及离子源装置
基本信息
| 申请号 | CN202010802515.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111933503B | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN111933503B | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01J27/14;H01J49/10;H01J49/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 冀鸣;刘运鸿;刘伟基;范奕生;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人 | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市立方律师事务所 | 代理人 | 刘延喜 |
| 地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种离子源的电源控制方法、系统及离子源装置，所述方法包括：根据电源系统输出的总电流值确定各个霍尔离子源的分支电流值；在各个所述霍尔离子源和中空阴极运行中，分别检测各个所述霍尔离子源的电流传感器反馈的实际电流值；将各个所述霍尔离子源对应的实际电流值与其设定的分支电流值的进行比对并计算气体流量控制参数；依据所述气体流量控制参数调整输入霍尔离子源的气体流量，以控制相应霍尔离子源的实际电流值与其设定的分支电流值相匹配。本申请实现了对多霍尔离子源工作时电流控制，能够对各个霍尔离子源的电流进行精确分配，优化了电源控制效果，提升了各个霍尔离子源的工作效果。 |
