中空阴极中和器的去氧装置及供气管路
基本信息
| 申请号 | CN202120186524.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752620U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752620U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01J37/30（2006.01）I;H01J37/08（2006.01）I;H01J37/24（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生 | 申请（专利权）人 | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市律帆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王园园 |
| 地址 | 528400广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种中空阴极中和器的去氧装置及中空阴极中和器的供气管路，该去氧装置连接在中空阴极中和器的供气管路上，用于对去除工作气体中的活泼气体；包括：加热组件，以及连接加热组件上的金属管道；金属管道一端为进气口，另一端为出气口；其中，进气口连接供气管道上气体源一侧，出气口连接供气管道上中空阴极中和器一侧；加热组件用于对金属管道进行加热至设定温度，金属管道用于对通过其内部的工作气体进行去氧；该技术方案，通过高温金属氧化去除工作气体里残余的活泼气体，可以确保输入到中空阴极中和器的工作气体保持足够的纯度，避免中空阴极中和器中的高温稀有金属被氧化，保障中空阴极中和器中形成热电子的材质正常工作。 |
