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半导体制造系统

基本信息

申请号 CN201320361049.0 申请日 -
公开（公告）号 CN203351563U 公开（公告）日 2013-12-18
申请公布号 CN203351563U 申请公布日 2013-12-18
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 任杰;黄颖泉 申请（专利权）人 光垒光电科技（上海）有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 郑玮
地址 200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种半导体制造系统，所述半导体制造系统包括：控制装置及半导体设备，所述控制装置与所述半导体设备相互连接，使得所述控制装置与所述半导体设备之间能够通信；所述控制装置包括显示设备，所述显示设备上显示图形化图标；所述控制装置用于在所述显示设备上的图形化图标被触发时，控制所述半导体设备的工作状态和/或获取所述半导体设备的工作状态。相对于现有技术中的通过以文字形式呈现的任务条进行选择，本实用新型提供的显示设备更加直观，从而便于操作，进而能对半导体设备准确控制。