沉积设备以及旋转装置
基本信息
| 申请号 | CN201320360851.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203346474U | 公开（公告）日 | 2013-12-18 |
| 申请公布号 | CN203346474U | 申请公布日 | 2013-12-18 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄允文 | 申请（专利权）人 | 光垒光电科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑玮 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及沉积设备，该沉积设备包括反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；用于带动所述旋转台转动的旋转装置，所述旋转装置包括：支撑座、筒状外壳以及旋转支撑轴，所述筒状外壳一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔，所述旋转支撑轴套设在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并与所述反应腔中的所述旋转台连接，所述筒状外壳内嵌设有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括一对配合使用的定子和转子，所述定子安装于所述筒状外壳的内壁，所述转子安装于所述旋转支撑轴上。本实用新型还提供一种旋转装置。本实用新型的所述旋转驱动机构可以设置于所述筒状外壳内，结构简单，安装、维护方便。 |
