进气管道以及进气装置
基本信息
| 申请号 | CN201320504654.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203513793U | 公开（公告）日 | 2014-04-02 |
| 申请公布号 | CN203513793U | 申请公布日 | 2014-04-02 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谭华强;乔徽;林翔;苏育家 | 申请（专利权）人 | 光垒光电科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑玮 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种进气管道以及包括所述进气管道的进气装置。所述进气管道具有进气口和出气口，所述进气管道还包括导流件，设置在所述进气口朝向气体腔室的一端，所述导流件能够使得来自气体腔室的反应气体从第一方向渐变至第二方向并进入所述进气口，经过气体管道的出气口流向所述反应区域。由于导流件的存在，使得反应气体能够较为缓和的流出出气口，因此反应区域的气体场的稳定性和均匀性都能够得到有效的改善，进而对衬底膜层的生长有着较大的改善。 |
