半导体处理系统、衬底托盘以及机械手
基本信息
| 申请号 | CN201310411110.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103465266A | 公开（公告）日 | 2013-12-25 |
| 申请公布号 | CN103465266A | 申请公布日 | 2013-12-25 |
| 分类号 | B25J15/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 田益西 | 申请（专利权）人 | 光垒光电科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑玮 |
| 地址 | 200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种半导体处理系统，包括反应腔、衬底托盘和机械手，所述衬底托盘包括底面，所述机械手包括叉状的两只手指，所述手指包括上表面，所述衬底托盘通过所述底面支撑在所述两个手指的上表面，所述手指的上表面包括定位结构，所述衬底托盘的底面具有与定位结构相配合的配合结构。本发明还提供一种用于如上所述的半导体处理系统的衬底托盘和机械手。本发明提供的半导体处理系统中，所述定位结构与所述配合结构相配合限制所述衬底托盘相对所述手指运动，从而可以固定所述机械手与衬底托盘的相对位置，能够避免所述衬底托盘在所述机械手上偏移。 |
