电性测试机构

基本信息

申请号 CN202122100032.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215641577U 公开(公告)日 2022-01-25
申请公布号 CN215641577U 申请公布日 2022-01-25
分类号 G01R31/00(2006.01)I;G01R1/04(2006.01)I;G01R1/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 段雄斌;席松涛;何选民 申请(专利权)人 深圳市标谱半导体股份有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 汪海琴
地址 518000广东省深圳市宝安区航城街道三围社区内环路同富裕工业园茶树A栋1层、2层、3层、5层、7层、8层
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种电性测试机构,包括:机架;第一调节座,沿第一方向移动设于机架上;探针结构,设于第一调节座上;电磁铁,包括线圈和衔铁轴;线圈设于机架上,并与第一调节座沿第一方向间隔分布;衔铁轴沿第一方向穿设于线圈,并用于推动第一调节座;衔铁轴在线圈通电时沿第一方向移动,以驱动第一调节座沿第一方向移动;复位件,连接于机架和第一调节座之间,并在线圈断电时复位,以带动第一调节座和衔铁轴沿第一方向复位移动。通过采用上述技术方案,使得衔铁轴、第一调节座以及探针结构的移动方向相同,并且,衔铁轴穿设于线圈,如此提高了电性测试机构的驱动平稳性,有助于提高探针结构的测试精准性。