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无线无源LC压力传感器及制造方法

基本信息

申请号 CN201810799263.1 申请日 -
公开（公告）号 CN109297621B 公开（公告）日 2021-07-30
申请公布号 CN109297621B 申请公布日 2021-07-30
分类号 G01L1/14（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 王东;乐砥柱;王上衡;朱建华;吴猛雄 申请（专利权）人 深圳振华富电子有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 李艳丽
地址 518000广东省深圳市龙华新区清湖和平路东路振华工业园4楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种无线无源LC压力传感器及制造方法，该制造方法包括步骤：分别制作第一生瓷片、第二生瓷片和第三生瓷片；在第三生瓷片上加工出第一通孔和第二通孔，在第一生瓷片上印刷第一电极极板、电感线圈和导电板；在第二生瓷片上印刷第二电极极板、导电片和导电线；再分别烧结，再叠压并使用玻璃浆料连接封装，并将导电片与导电板电性相连。本发明将第一生瓷片、第二生瓷片和第三生瓷片分开利用低温烧结工艺分别得到第一基板、第二基板和第三基板，从而可以良好控制第一基板、第二基板和第三基板的厚度；再进行叠压后使用玻璃浆料连接封装，能精确控制第一电极极板与第二电极极板之间的间距，可以保证电容腔体的一致性和平整度。