一种两自由度运动真空吸盘管线结构
基本信息
| 申请号 | CN201510094791.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104678717B | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN104678717B | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 宋耀东;项宗齐;王晓光 | 申请（专利权）人 | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 代理机构 | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 地址 | 230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种两自由度运动真空吸盘管线结构，包括气管、转接头、滑轨、滑块、拖链，气管可随真空吸盘实现在X和Y方向两自由度运动。本发明结合微分思想采用短截气管实现真空吸盘沿X方向运动所有气管总形变量不变及真空吸盘Y方向运动时拖链约束原理，实现对气管运动的约束限制，保证机台正常工作。本发明结构简单，设计合理。 |
