一种侧立安装式双工件台装置
基本信息
| 申请号 | CN201510395251.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104950595B | 公开（公告）日 | 2017-05-24 |
| 申请公布号 | CN104950595B | 申请公布日 | 2017-05-24 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 项宗齐 | 申请（专利权）人 | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡剑辉 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种侧立安装式双工件台装置，其括一基座，所述基座包括一底座与两侧边，所述两侧边分别设有相互平行的水平导轨，所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工作台组件、第二滑动工作台组件，所述两滑动工作台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程；所述第一滑动工作台组件包括一第一工作台，所述第二滑动工作台组件包括一第二工作台，所述第一工作台与第二工作台之间具有一平行间距，所述两工作台可分别平行移动至对方所在的平面。本发明的两个工作台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置，在不同位置完成不同的工序，并通过交换位置完成工序的交换，实现了PCB板曝光与装卸的同时进行，增加了曝光效率。 |
