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一种基准式双工件台装置

基本信息

申请号	CN201510397473.4	申请日	-
公开（公告）号	CN104950597B	公开（公告）日	2017-05-24
申请公布号	CN104950597B	申请公布日	2017-05-24
分类号	G03F7/20(2006.01)I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	项宗齐	申请（专利权）人	合肥芯硕半导体有限公司
代理机构	北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	合肥芯硕半导体有限公司;中夏芯基（上海）科技有限公司
地址	230000 安徽省合肥市合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东
法律状态	-

摘要

一种基准式双工件台装置，其包括基座组件，所述基座组件上放置有两相互平行且具有一间距的第一水平导轨与第二水平导轨，两水平导轨上分别设有第一水平滑座、第二水平滑座，所述两水平滑座分别沿所述两水平导轨分别具有一相同的水平滑动行程；所述第一水平滑座、第二水平滑座上分别设有第一竖向滑动组件、第二竖向滑动组件，所述第一竖向滑动组件、第二竖向滑动组件上分别设有与水平面平行的第一工作台、第二工作台，所述第一工作台、第二工作台可平行移动至对方所在的平面。本发明的两个工作台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置，在不同位置完成不同的工序，并通过交换位置完成工序的交换，实现了PCB板曝光与装卸的同时进行，增加了曝光效率。