沟槽型二极管器件

基本信息

申请号 CN201821370886.9 申请日 -
公开(公告)号 CN208674062U 公开(公告)日 2019-03-29
申请公布号 CN208674062U 申请公布日 2019-03-29
分类号 H01L21/329(2006.01)I; H01L29/872(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 赖海波; 徐承福; 朱开兴 申请(专利权)人 龙岩市龙盛融资担保有限责任公司
代理机构 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 福建龙夏电子科技有限公司
地址 364012 福建省龙岩市新罗区东肖镇曲潭路15号龙岩市科技创业园一号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种沟槽型二极管器件,所述沟槽型二极管器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底内的阵列分布的元胞沟槽;覆盖所述元胞沟槽内壁的介质层,所述介质层的厚度自元胞沟槽顶部向下逐渐增大;位于所述介质层表面且填充满所述元胞沟槽的电极层,所述电极层的宽度自元胞沟槽顶部向下逐渐减小。所述沟槽型二极管器件的导通电阻降低,提高击穿电压。