一种激光直写成像设备内层基板的对准定位方法
基本信息
| 申请号 | CN201910534147.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110308621B | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN110308621B | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 董帅;王勇 | 申请（专利权）人 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 奚华保 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明是一种激光直写成像设备内层基板的对准定位方法，该方法采用内层基板上四个端角上的四个通孔作为正反面曝光时的定位标识，曝光正面（A面）时，通过设备中的对位相机抓取这四个通孔的中心点坐标（吸盘），反推出四个通孔靶标中心在正面（A面）图形坐标系中的坐标值，然后将通孔靶标中心在图形坐标系中的坐标值作为反面（B面）对位时的参考坐标进行对位曝光。本发明避免了现有技术中成像质量受显色性等因素影响而造成的对准失败，有效提高了激光直写成像设备内层基板对准定位的准确度。 |
