双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备
基本信息
| 申请号 | CN202110858433.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113515023A | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN113515023A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 戚蓉蓉;杨宇航;李鹏飞 | 申请（专利权）人 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京景闻知识产权代理有限公司 | 代理人 | 贾玉姣 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备，双波段照明系统包括：第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件，耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线；第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧；其中，第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样，通过设有第一光源和第二光源发出光线，并在耦合透镜上进行耦合后传递，使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整，降低双波段照明系统所匹配成像系统的设计难度，提升双波段照明系统的市场竞争力且双波段照明系统在进行生产时的工艺覆盖面更为广阔。 |
