一种激光直接成像设备正反面成像对位误差的检测方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种激光直接成像设备正反面成像对位误差的检测方法

基本信息

申请号	CN201910100091.9	申请日	-
公开（公告）号	CN109597283B	公开（公告）日	2021-08-13
申请公布号	CN109597283B	申请公布日	2021-08-13
分类号	G03F7/20;G03F9/00;G01B11/03	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	尤勇;严孝年;杨坤伦	申请（专利权）人	合肥芯碁微电子装备股份有限公司
代理机构	合肥天明专利事务所（普通合伙）	代理人	苗娟;奚华保
地址	230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
法律状态	-

摘要

本发明的一种激光直接成像设备正反面成像对位误差的检测方法，可解决现有的检测方法效率低下而且检测精度低的技术问题。包括S10、向产品的A面图形边缘添加对位检测标记MARK‑A；S20、向产品的B面图形边缘添加对位检测标记MARK‑B，MARK‑A与MARK‑B中心对齐；S30、向产品基板的对称两板边固定两条与基板等厚度的透明材质；S40、安装并调试基板；S50、对基板A面进行曝光成像；S60、对基板进行左右翻版；S70、对基板B面进行曝光成像；S80、CCD图像处理系统抓取MARK‑A中心坐标；S90、CCD图像处理系统抓取MARK‑B中心坐标；S100、计算MARK‑A与MARK‑B中心坐标误差值。本发明省去了化学显影化学蚀刻化学退膜和X‑Ray照射、显微镜测量等步骤，提高了检测效率和准确性。