单晶氮化铝薄膜及其制作方法、体声波滤波器的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110992773.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114000199A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN114000199A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C30B29/40（2006.01）I;C30B25/02（2006.01）I;C30B25/00（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I;C30B31/22（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H9/56（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 樊永辉;许明伟;樊晓兵 | 申请（专利权）人 | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市博衍知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曾新浩 |
| 地址 | 518000广东省深圳市华富街道莲花一村社区皇岗路5001号深业上城（南区）T2栋2701 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种单晶氮化铝薄膜及其制作方法、体声波滤波器的制作方法，单晶氮化铝薄膜的制作方法包括步骤：提供一衬底；在所述衬底上形成单晶含有铝和氮的三元或多元化合物薄膜；通过离子注入方式对单晶含有铝和氮的三元或多元化合物薄膜进行金属掺杂；形成掺杂的单晶氮化铝薄膜。通过上述方案以提供一种高品质掺杂的单晶氮化铝薄膜作为体声波滤波器的压电层，以提高滤波器的带宽。 |
