一种大尺寸用籽晶杆保护装置
基本信息
| 申请号 | CN202020387614.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212955445U | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN212955445U | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 左洪波;杨鑫宏;李铁;马宗羽 | 申请（专利权）人 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种大尺寸用籽晶杆保护装置。它包括籽晶杆、籽晶杆铜头、电磁流量阀、压力传感器及PLC控制单元。籽晶杆内挡水板将水流分割两个连通区域，籽晶杆进水口处连接有电磁流量阀控制水流，在籽晶杆出水口连接有压力传感器监测水压，电磁流量阀与压力传感器整体由PLC控制单元控制。本实用新型籽晶杆装置冷却效果明显，在籽晶杆铜头高温漏气时可以防止单晶炉内热场组件氧化，延长其使用寿命。 |
