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一种蓝宝石单晶炉用籽晶自动清洁系统

基本信息

申请号 CN202020385433.4 申请日 -
公开（公告）号 CN212688231U 公开（公告）日 2021-03-12
申请公布号 CN212688231U 申请公布日 2021-03-12
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 左洪波;杨鑫宏;李铁;崔宝龙 申请（专利权）人 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种蓝宝石单晶炉用籽晶自动清洁系统，该系统主要由微处理器、温度传感器、压力传感器、重量感应器、信号放大器、升降机构、滑动变阻器和旋转电机组成。温度传感器、压力传感器的输出端与微处理器的输入端连接；重量感应器输出端通过信号放大器与微处理器的输入端连接；微处理器输出端与旋转电机和升降机构连接。本实用新型通过温度传感器、压力传感器和重量感应器采集数据，微处理器接收数据后对旋转电机和升降机构进行控制，并通过电阻值的变化定位升降机构的升降位置，使蓝宝石单晶炉自动对籽晶端面附着的钨钼挥发物进行清洁。