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一种芯片清洗装置

基本信息

申请号 CN201921351826.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211208394U 公开（公告）日 2020-08-07
申请公布号 CN211208394U 申请公布日 2020-08-07
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 原子健;李晓杰;常小明 申请（专利权）人 济源艾探电子科技有限公司
代理机构 北京天盾知识产权代理有限公司 代理人 卓邦荣
地址 459000河南省济源市高新技术产业集聚区内
法律状态 -

摘要

摘要 一种芯片清洗装置，包括外箱，外箱内部中间固定有分隔板，分隔板将外箱体分割为上空腔和下空腔，上空腔上设有清洗组件，清洗组件包括清洗箱，清洗箱上沿清洗箱周壁上固定有多个超声波发生器，分隔板上固定有超声波换能器，清洗箱的中部设有置物板，出水口连接有第一管道且第一管道伸出上空腔，下空腔内设有过滤组件，过滤组件包括设置在外箱体上的过滤板，过滤板上方设有第二管道，第一管道的伸出端与第二管道的伸出端通过弯管相互连接，外箱体上固定有水泵，水泵的进水口通过管道与下空腔连通，水泵的出水口可通过管道将液体输送到清洗箱内。能够更高效的对芯片进行清洗，同时能够对清洗液进行重复使用，提高清洗液的使用效果。