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一种真空气相沉积炉

基本信息

申请号 CN202021688282.6 申请日 -
公开（公告）号 CN213171483U 公开（公告）日 2021-05-11
申请公布号 CN213171483U 申请公布日 2021-05-11
分类号 C01B33/113 分类 无机化学;
发明人 何畅雷;季晶晶;郎庆安;黄海;刘兆平 申请（专利权）人 宁波富理电池材料科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 张欣然
地址 315201 浙江省宁波市镇海区中官西路1818号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空气相沉积炉，包括：反应室，用于为待反应物质提供反应环境；钟罩型收集器，罩设于反应室的外周部、用于使气体冷凝并收集气体冷凝之后的产物，且设置有扩散孔；炉盖，罩设于钟罩型收集器的外周部，使炉盖内形成密闭空间；抽真空口，设置于炉盖，用于在抽真空时使炉盖内空间的气体流出。在抽真空口处进行抽真空操作，待反应物质反应过程中产生的气体由出气孔出来之后，会沿着钟罩型收集器的内壁流动并冷凝，被钟罩型收集器收集，钟罩型收集器内的空气会流动至扩散孔，由于扩散孔与出气孔错位设置，因此气体在流动的过程中需要改变方向，流动路线为非直线，避免了气体直接被抽走，从而提高了真空气相沉积炉的收料率。