一种测试站三轴微调装置
基本信息
| 申请号 | CN202021393016.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212567196U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212567196U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | G01B5/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蔡庆鑫;丘劭晖;李奕年 | 申请（专利权）人 | 江苏同臻智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏银创律师事务所 | 代理人 | 李挺 |
| 地址 | 314419 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号6幢2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种测试站三轴微调装置，其涉及高精度机械领域，尤其是涉及一种用于半导体晶片制造加工领域的测试站三轴微调装置。通过设置X向调节组件、Y向调节组件和Z向调节组件实现三向微调，为了实现更高精度的微调，本申请在X向调节组件、Y向调节组件和Z向调节组件中增设了交叉滚珠导轨，提高其稳定性能，配合上千分尺旋钮实现精度达到1μm的微调。 |
