一种硅压阻压力传感器芯体及其生产方法
基本信息
| 申请号 | CN201110455038.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102519658B | 公开（公告）日 | 2014-11-05 |
| 申请公布号 | CN102519658B | 申请公布日 | 2014-11-05 |
| 分类号 | G01L9/06(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨熹;任忠原;李存德;徐冬梅;姚子龙;马长宝;王玉熬 | 申请（专利权）人 | 天水华天传感器有限公司 |
| 代理机构 | 甘肃省知识产权事务中心 | 代理人 | 天水华天传感器有限公司 |
| 地址 | 741000 甘肃省天水市双桥路14号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的目的是提供一种硅压阻压力传感器芯体及其生产方法，以解决现有硅压阻压力传感器注油芯体中存在的硅橡胶粘接厚度大、陶瓷座设计不适宜自动键合、注油多，无法生产10kPa以下小量程的问题。本发明硅压阻压力传感器芯体，包括芯体座体、玻璃绝缘子、通气孔、引线、注油腔，所述芯体座体中心设有凹坑，所述注油腔中设有所述芯片陶瓷座，芯片陶瓷座上设有传感器芯片，所述传感器芯片上方设有波纹膜片，所述波纹膜片上设有焊接环。本发明传感器芯体的生产方法，采用清洗、芯片粘接、键合、波纹膜片焊接、真空注油、高温储存、疲劳试验、打印、自动温度补偿、测试步骤。本发明硅压阻压力传感器注油芯体由于体积小、重量轻、输出灵敏度高。 |
