一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具
基本信息
| 申请号 | CN202022656315.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213728662U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213728662U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | B21D3/00（2006.01）I;G01B5/30（2006.01）I | 分类 | 基本上无切削的金属机械加工；金属冲压; |
| 发明人 | 张胜心;贺贤汉;朱光宇;王松朋;张正伟;李泓波 | 申请（专利权）人 | 富乐德科技发展（大连）有限公司 |
| 代理机构 | 大连智高专利事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 盖小静 |
| 地址 | 116600辽宁省大连市保税区海明路179-8号（环普国际产业园B04栋） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，包括检验治具、矫正治具，所述检验治具为圆环形结构，该圆环形结构顶部开有矫正凹槽；所述矫正治具包括滑动导轨四爪气缸、胎具和三位四通手动气阀，所述胎具内侧开有插槽，所述插槽内固定连接有过渡块，所述过渡块还与滑动导轨四爪气缸相连，所述滑动导轨四爪气缸通过三位四通手动气阀与压缩空气罐相连。本申请在保证不损坏不锈钢部件本身性能前提下，将其矫正在公差范围之内，使得不锈钢部件可以继续使用，且矫正准确，费用成本低。 |
